根據相關標準對濕度測試設備濕度偏差的要求，在25℃~65℃的溫度范圍內，當濕度大于或等于75%RH時，濕度偏差±3%RH，當濕度小于75%RH時，濕度偏差±5%RH。當然也有一些特殊的、比較少使用的試驗要求，例如溫度85℃、濕度85%RH，溫度90℃、濕度95%RH等。

　　按照度量值傳遞系統表的要求，允許偏差±1%RH的濕度標準，傳遞允許偏差±2%RH的二級濕度標準，二級濕度標準傳遞允許偏差±（2%~7%）RH的濕度工作計量器具。這就要求濕度測量儀器在測量濕度偏差±3%RH的濕度試驗設備時，測量誤差應小于±1.5%RH。